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o'keefe p. | 入江工研(株)
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入江工研(株) | 論文
高い一様性を持つ誘導励起プラズマの生成と応用
コンパクト高密度ラジカル源
ハーモニックドライブ・ロータリーフィードスルーの開発
酸素ラジカルビーム照射による超伝導薄膜成長に及ぼす効果
電子ビーム合金化層の形成と耐食性評価
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