Kang C‐y | Lg Semicon Co. Ltd. R&d Division

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概要

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Lg Semicon Co. Ltd. R&d Division | 論文

• Control of Boron Lateral Diffusion by Nitrogen Implantation in Sub-0.15mm CMOS Devices
• Control of Boron Lateral Diffusion by Nitrogen Implantation in Sub-0.15mm CMOS Devices
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