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平田 薫 | 東北大学大学院工学研究科
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同名の論文著者
東北大学大学院工学研究科の論文著者
関連著者
江刺 正喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
新妻 弘明
東北大学大学院工学研究科
平田 薫
東北大学大学院工学研究科
著作論文
地下弾性波検出のための光干渉型マイクロ加速度計の製作と特性評価
シリコン振動子の光ファイバ先端への取り付けと光干渉型マイクロ加速度計の開発
地下弾性波検出のための光干渉型マイクロセンサの開発
マイクロマシニングによる地下弾性波計測のための光干渉型加速度センサの開発
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