焼田 和明 | (株)東京ダイヤモンド工具製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)東京ダイヤモンド工具製作所の論文著者

関連著者

• 河合 真二

  茨城大学理工学研究科

• 焼田 和明

  (株)東京ダイヤモンド工具製作所

• 江田 弘

  茨城大学

• 周 立波

  茨城大学

• 清水 淳

  茨城大学

• 周 立波

  茨城大学工学部

• 清水 淳

  茨城大学工学部

• 江田 弘

  茨城大学工学部

• 吉田 雄二

  東京ダイヤモンド

• 本田 将之

  茨城大学理工学研究科

• 河合 真二

  茨城大院

• 焼田 和明

  東京ダイヤモンド工具製作所

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著作論文

• SiウエハのChemo-Mechanical-Grinding(CMG)に関する研究 : 第1報 : CMG砥石の開発
• Chemo-Mechanical Grindingに関する研究 : 予備実験について

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