鈴木 隆行 | 電通大量子物質:jstさきがけ

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論文 | ランダム

• 紫外線感光性樹脂を使ったマスクパターン転写法とビーム描画法によるマイクロ部品の製作
• 紫外線感光性樹脂を使ったマイクロストラクチュアの製造 : 第4報, 集束ビーム描画法による三次元部品の製作
• 光造形法による形状創成(3次元微細形状創成技術)
• 紫外線感光性樹脂を使ったマイクロ部品の製作
• 紫外線感光性樹脂を使った集束レーザビーム描画法による3次元マイクロ部品の製作

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