寺嶋 洋也 | ファナック(株)

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• 寺嶋 洋也

  ファナック株式会社

• 寺嶋 洋也

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• 沢田 潔

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著作論文

• 超精密ナノ加工機の開発
• 微細加工技術と超精密位置決め技術
• 空気静圧上下運動機構(第2報)
• 高密度ピッチ誤差補正機能(第2報) : 測定時間の短縮と超精密加工への適用の効果
• 上下軸テーブルの傾斜補正機能
• 高密度ピッチ誤差補正機能
• グリップ式圧電リニアアクチュエータ-ダブルストラクチャアームタイプの開発-
• 摩擦駆動式マイクロ圧電リニアアクチュエータの研究 : グリップ式圧電リニアアクチュエータの推力特性
• グリップ式圧電リニアアクチュエータ -グリップ機構部の改良と特性の向上-
• グリップ式圧電リニアアクチュエータ -外圧グリップ式の開発と精密位置決め-

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