安達 太起夫 | 日鉄化工機(株) 技術本部

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• 安達 太起夫

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• 超高濃度オゾン水製造設備「バンブージェネレーター」 (特集 半導体製造プロセスの品質向上に貢献する周辺技術)
• 技術レポート バンブーT高濃度オゾン水製造設備"バンブータワー"
• 超高濃度オゾン水製造設備--ウェハ洗浄,フォトレジスト剥離および純水回収への応用 (特集 半導体製造プロセスを支える周辺技術の最新動向)
• フロン類破壊装置 (特集 2006年度〔分離技術会〕年会) -- (第15回分離技術会技術賞)
• フロン類破壊装置 (特集 優秀環境装置) -- (日本産業機械工業会会長賞)
• 吸着操作を利用したVOCの除去・回収 (特集 先端環境技術開発の展望)
• 溶剤回収設備 (特集 環境装置に活かされる分離技術)
• 低温脱着溶剤回収法の開発

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