藤山 寛 | 長崎大学 工学部 電気電子工学科
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概要
関連著者
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藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
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藤山 寛
長崎大学 工学部 電気電子工学科
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著作論文
- 反応性スパッタリングによるMgO薄膜作成プロセスの実験的・理論的検討
- プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化 : プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで
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- 細管内壁コーティング用同軸型マグネトロンパルスプラズマの特性
- 同軸型マグネトロンパルスプラズマを用いた細管内壁コーティングに関する研究