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松井 和明 | 工学院大学電気工学科
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新東科学 (株)
松井 和明
工学院大学
著作論文
AR^+イオンビームアシスト蒸着法によるTi膜の付着力とその蒸着速度依存症
Ti蒸着膜に対するAr+イオンビ-ムアシスト効果 (イオンビ-ムによる表面改質とパッシベ-ション)
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