稲川 幸之助 | (株)アルバック 筑波超材料研究所

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概要

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• 稲川 幸之助

  (株)アルバック 筑波超材料研究所

• 稲川 幸之助

  株式会社アルバック筑波超材料研究所

• 野末 竜弘

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• 稲川 幸之助

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• 佐藤 昌敏

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• 竹井 日出夫

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• 野末 竜弘

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• 水野 健二

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• 川村 裕明

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• 徳永 康宏

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• 石橋 暁

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著作論文

• ホローカソード放電法で作製したダイヤモンド状炭素膜および窒化炭素膜の特性評価
• 高速生成ダイヤモンド状炭素膜および窒化炭素膜の機械的特性(硬質材料の創製とその応用)
• HCD法によるダイヤモンド状炭素膜および窒化炭素膜の高速生成
• 巻取り式プラズマエッチングによるポリイミドへのビアホール加工
• 巻取り式プラズマエッチングによるポリイミドへのビアホール形成
• 透明ガスバリアー膜の形成とその特性

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