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渡辺 正浩 | 東京大学生産技術研究所 : (現)(株)日立製作所
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同名の論文著者
東京大学生産技術研究所 : (現)(株)日立製作所の論文著者
関連著者
渡辺 正浩
東京大学生産技術研究所 : (現)(株)日立製作所
樋口 俊郎
東京大学生産技術研究所
工藤 謙一
東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
工藤 謙一
プリマハム(株)中央研究所
著作論文
圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構
特集15 : 研究速報 : 圧電素子の急速変形を利用した精密位置決め機構
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