浦本 上進 | 核酸合科学研究所

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概要

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関連著者

• 浦本 上進

  核酸合科学研究所

• 浦本 上進

  文部省核融合科学研究所

著作論文

• 高効率大直径ウェーハ作製のための大円盤形シートプラズマ
• 簡易化した電子加速型プラズマ
• 反射型シートプラズマ
• 二重圧力勾配型直交磁場放電 (PIG) プラズマ
• 電子加速型シートプラズマ

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