西岡 岳 | (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター 半導体プロセス開発第五部

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関連著者

• 西岡 岳

  (株)東芝機械・システムラボラトリー

• 西岡 岳

  (株)東芝

• 西岡 岳

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター 半導体プロセス開発第五部

• 瀬田 聡子

  (株)東芝研究開発センター

• 瀬田 聡子

  (株)東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー

著作論文

• 次世代半導体開発を担うトライボロジー技術(ナノテクノロジーとの融合によるトライボロジーの新展開,F16 機素潤滑設計部門企画)
• 「新エネルギーシステムとトライボロジー」特集号発刊によせて
• 原子間力顕微鏡を用いたシリコン酸化膜研磨メカニズムの研究

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