加藤 弘一 | (株)東芝総合研究所基礎研究所

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• 加藤 弘一

  (株)東芝研究開発センター新機能材料・デバイスラボラトリー

• 加藤 弘一

  (株)東芝総合研究所基礎研究所

• 加藤 弘一

  (株)東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

著作論文

• 15p-DJ-3 Si表面上のハロゲン原子によるダイナミクス
• 27a-ZG-20 Si中の格子間原子による不純物拡散機構
• 29p-K-10 第一原理分子動力学法による格子間Si原子の熱拡散過程

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