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山田 和孝 | 新潟大学大学院
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概要
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新潟大学大学院の論文著者
関連著者
横山 和宏
新潟大学大学院自然科学研究科
横山 和宏
新潟大学工学部
山田 和孝
新潟大学・院
山田 和孝
新潟大学大学院
著作論文
超精密加工用真空チャックの熱変形による平面度変化の解析(第2報) : 平面度変化のメカニズムの実験による解明
超精密加工用真空チャックの熱変形による平面度変化の解析 (第1報) : 真空チャックの熱的挙動
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