櫻井 光一 | (株)ルネサステクノロジ 生産技術本部
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概要
関連著者
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櫻井 光一
(株)ルネサステクノロジ 生産技術本部
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藤井 進
上智大学理工学部機械工学科
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貝原 俊也
神戸大学大学院工学研究科情報知能学専攻
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大阪大学 大学院 情報科学研究科
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三菱電機
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神戸大学 工学部
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神戸大・工
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神戸大学大学院システム情報学研究科
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櫻井 光一
三菱電機(株)ULSI技術開発センター
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藤井 進
上智大学 大学院 理工学研究科
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貝原 俊也
神戸大学大学院
著作論文
- ASIC製造ラインにおける欠陥検査法に関する基礎的研究
- ASIC製造ラインにおける欠陥検査法に関する基礎的研究(第3報 : コストモデルによる欠陥検査運用法の一提案)
- ASIC製造ラインにおける欠陥検査法に関する基礎的研究 : 第2報 : 検査方法による歩留りとクリーニング頻度の変化