村田 英夫 | 日立金属(株)冶金研究所

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概要

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• 日立金属(株)冶金研究所の論文著者

関連著者

• 村田 英夫

  日立金属(株)冶金研究所

• 長谷部 光弘

  九州工大工学部

• 長谷部 光弘

  九州工業大学・工

• 上野 友典

  日立金属株式会社冶金研究所

• 高島 洋

  日立金属株式会社冶金研究所

• 村田 英夫

  日立金属株式会社冶金研究所

• 上野 友典

  日立金属 安来工場

• 長谷部 光弘

  九州工業大学大学院工学研究院

• 長谷部 光弘

  九州工業大学 工学部物質工学科

• 大庭 卓也

  島根大学 総合理工学部

• 村田 英夫

  日立金属

• 長谷部 光弘

  九工大工

• 韓 剛

  日立金属株式会社冶金研究所

• 長谷部 光弘

  九州工業大学

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著作論文

• Taを添加したCo-Cr系合金膜における相平衡の熱力学的計算
• Co-Cr系合金膜における相平衡の熱力学的計算
• スパッタリング法で形成したCr合金膜の反射特性
• 磁気ディスク,シード膜用Ni-Al系ターゲット
• 半導体LSI用スパッタリングターゲット

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