山川 耕志郎 | 豊田工業大学
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概要
関連著者
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古谷 克司
豊田工業大学
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毛利 尚武
豊田工業大学
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山川 耕志郎
豊田工業大学
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山田 久
三菱電機(株)名古屋製作所
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真柄 卓司
三菱電機(株)
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武沢 英樹
豊田工業大学
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山田 久
豊田工業大学
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真柄 卓司
三菱電機
著作論文
- ワイヤ放電加工における動的システムに関する考察
- 原子間力顕微鏡のためのパラレルメカニズム式微動テーブル
- SPM型ナノ加工機の開発(第2報) -誘導電荷フィードバックによるテーブルの制御-
- SPM型ナノ加工機の開発(第1報) -パラレルメカニズムを用いた微動機構-