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大平 竜也 | 三菱重工業(株)基盤技術研究所
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大平 竜也
三菱重工高砂研究所
大平 竜也
三菱重工業(株)基盤技術研究所
著作論文
プラズマCVD中入射イオンエネルギーのa-Si : H膜表面への影響に関する分子動力学解析
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