豊田 聡 | 日本真空技術株式会社

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概要

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関連著者

• 玉川 孝一

  日本真空技術・筑波半技研

• 豊田 聡

  日本真空技術株式会社

• 山川 洋幸

  日本真空技術

• 清田 哲司

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• 玉川 孝一

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著作論文

• 10^Pa台の超高真空対応スパッタリング装置によるアルミニウム膜の堆積
• 超高真空対応100 MHz RF-DC結合バイアススパッタリング装置とAl膜の堆積

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