左光 大和 | 東京大学生産技術研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 東京大学生産技術研究所の論文著者

関連著者

• 左光 大和

  (株)岡本工作機械製作所

• 左光 大和

  東京大学生産技術研究所

著作論文

• テトラ-メチル-アンモニウム-ヒドロキシド(TMAH)を用いたシリコンウェーハの研磨加工及びAFMによる原子スケール加工の研究
• AFMにより測定したシリコンウエハポリシング面粗さのフラクタル解析

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