内山 直己 | 浜松ホトニクス

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概要

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関連著者

• 内山 直己

  浜松ホトニクス

• 内山 直己

  浜松ホトニクス(株)

• 大村 悦二

  大阪大学大学院工学研究科

• 熊谷 正芳

  浜松ホトニクス(株)

• 福満 憲志

  浜松ホトニクス(株)

• 森田 英毅

  浜松ホトニクス(株)

• 大村 悦二

  大阪大学大学院工学研究科ビジネスエンジニアリング専攻

• 中野 誠

  浜松ホトニクス(株)

• 大村 悦二

  大阪大院

• 渥美 一弘

  浜松ホトニクス

• 渥美 一弘

  浜松ホトニクス(株)

• 内山 直己

  浜松ホトニクス(株)電子管事業部第6製造部市場開発グループ

• 大村 悦二

  大阪大学大学院

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著作論文

• 透過性パルスレーザによる極薄シリコンウェハの内部改質
• 428 透過性ナノ秒レーザによるシリコンの内部改質層形成機構(OS-14 レーザ応用加工)
• 完全ドライプロセスのレーザダイシング技術 : —ステルスダイシング—
• 切断ロス・ゼロを実現した内部吸収型レーザダイシング技術 : ステルスダイシング(Stealth Dicing)技術(ニッポンのオンリーワン「メカ」)

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