山道 新太郎 | Nec Ulsiデバイス開発研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• Nec Ulsiデバイス開発研究所の論文著者

関連著者

• 山道 新太郎

  Nec Ulsiデバイス開発研究所

• ルセシェール ピエール

  NEC ULSIデバイス開発研究所

著作論文

• ECR-MOCVD法によるSrTiO_3薄膜とRIE加工によるRuO_2/TiN電極を用いたGbit級DRAM用キャパシタ作製技術

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