斎藤 博嗣 | 金沢工大 高度材料科学研開セ

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概要

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• 同名の論文著者
• 金沢工大 高度材料科学研開セの論文著者

金沢工大 高度材料科学研開セ | 論文

• 高周波プラズマ支援スパッタリング法によるインジウム-スズ酸化物(ITO)薄膜の構造および物性制御
• 「つくる、評価する、考える」を実践するものづくり教育 -スパッタリング法による半導体薄膜作製・評価実験-
• プラズマ重合分子認識膜を有するQCMガスセンサ
• スパッタリング成膜における薄膜構造制御
• ポリイミド・ターゲットのスパッタリングによる薄膜作製

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