中田 俊彦 | 日立生研

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概要

• 同名の論文著者
• 日立生研の論文著者

関連著者

• 中田 俊彦

  日立生研

• 澤田 嗣郎

  東大工

• 北森 武彦

  東大工

• 小林 イラリオ治臣

  日立生研

• 吉田 実

  日立製作所生産技術研究所

• 中田 俊彦

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 見坊 行雄

  (株)日立製作所

• 見坊 行雄

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 見坊 行雄

  日立生研

• 上田 拓志

  日立金属(株)

• 吉田 実

  日立生研

• 笹澤 秀明

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 笹澤 秀明

  日立生研

• 古澤 賢司

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• 加藤 篤

  日立ストレージシステム事業部

• 斉藤 治信

  日立ストレージシステム事業部

• 二宮 隆典

  日立生研

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著作論文

• 波長248nm遠紫外光を用いたGMR素子寸法・配列計測装置
• PA23 並列励起・位相シフト積分検出法を用いた高速光熱変位顕微鏡の検討(ポスタセッションA-概要講演・展示)
• H2 1次元熱伝導モデルに基づいたSiウェハ上クラックの光音響検出シミュレーション(光音響技術)
• PB3 光音響顕微鏡によるSiウェハ表面下30nm幅クラックの検出と画像化(ポスターセッション概要講演)

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