中野 元博 | 阪大院工
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概要
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著作論文
- 走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 走査システムの改良と光硬化性樹脂によるプローブ製作
- 光ファイバ先端を点光源とした位相シフト型Point Diffraction Interferometer (PS-PD1)の開発 : 光源の位相シフトを利用した凹面鏡の形状計測