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井上 直久 | Ntt電気通信研究所
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Ntt電気通信研究所の論文著者
関連著者
和田 一実
マサチューセッツ工科大
井上 直久
Ntt電気通信研究所
和田 一実
NTT電気通信研究所
著作論文
シリコン結晶中の酸素の挙動
シリコン中の酸素の析出現象 : III. プロセス誘起不純物偏析
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