KOLOBOV Vladimir | CFDRC

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概要

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• 同名の論文著者
• CFDRCの論文著者

関連著者

• 池田 圭

  (株)ウェーブフロント 連成問題研究部

• 奥村 智洋

  松下電器産業(株)生産革新本部 生産技術研究所 微細加工技術開発グループ

• KOLOBOV Vladimir

  CFDRC

著作論文

• マルチスパイラルコイルを用いた誘導結合型プラズマの3次元シミュレーション

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