大沢 昭 | (株)富士通研究所

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概要

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関連著者

• 原 明人

  (株)富士通研究所

• 大沢 昭

  (株)富士通研究所

著作論文

• 24a-T-2 酸素, 炭素, 窒素が共存するSi結晶の性質
• 不純物を含む複合体欠陥 (Si結晶の評価技術(技術ノ-ト))
• 2p-F-5 CZ-Si結晶に形成されるNL10欠陥

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