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繁山 みゆき | 東海大・理
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同名の論文著者
東海大・理の論文著者
関連著者
矢部 栄二
開発研
高山 一男
開発研
山内 和雄
(株)昭和真空
高橋 圭二
東海大・理
繁山 みゆき
東海大・理
著作論文
27p-ZA-9 カスプ磁場と高周波放電を用いた大口径プラズマ源
28p-G-10 高周波放電とカスプ磁場を用いた大口径プラズマ源
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