加藤 建夫 | 三菱マテリアル?シリコン研究センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱マテリアル?シリコン研究センターの論文著者

関連著者

• 荻田 陽一郎

  電気電子工学科

• 荻田 陽一郎

  神奈川工科大学工学部電気電子工学科

• 加藤 建夫

  三菱マテリアル?シリコン研究センター

• 黒川 昌毅

  神奈川工科大学大学院工学研究科

• 小林 謙一

  神奈川工科大学大学院工学研究科

• 近藤 英之

  三菱マテリアルシリコン?

著作論文

• Si表面層H_+イオン注入ダメージのパルス光電導振幅(PPCA)による評価
• 水素イオン注入Siウェーハ表面層のPCAによる評価

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