石川 誠二 | (株)日立製作所
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概要
関連著者
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石川 誠二
(株)日立製作所
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高橋 武則
東京理科大学
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郷 直樹
東京理科大学
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宮崎 功
(株)日立製作所
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天野 武
東京理科大学
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国井 友春
東京理科大学
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石原 和子
(株)日立製作所
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大嶋 孝幸
(株)日立製作所
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宮本 佳幸
(株)日立製作所
著作論文
- 質的変数を用いた回帰モデルの合成 : 半導体露光用マスク(2枚および3枚の場合)の選択基準の導出
- 質的変数を含む重回帰モデルに基づく解析方法の提案
- 3-2 フェイルビットデータ解析システムの開発(第43回研究発表会)
- 三種類の管理図を用いた半導体製造工程における異物の管理