渕本 信行 | 熊大院

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概要

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関連著者

• 栗島 啓聡

  東京エレクトロン九州(株)

• 松崎 和愛

  熊本大学工学部

• 渕本 信行

  熊大院

• 大庭 英樹

  熊大工

• 大庭 英樹

  熊本大学

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  熊本大学大学院自然科学研究科

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• 渕本 信行

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• 高良 和則

  熊本大・院

• 若水 信也

  東京エレクトロン九州

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著作論文

• G202 ウェハベーキング装置内部熱流体解析における近似モデルの影響
• 209 半導体製造装置内部流れの数値解析 : 近似モデルの影響
• 302 温度差が大きい自然対流の数値解析(流体工学 : 混相流・流体現象)

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