高井 治 | 名古屋大学大学院工学研究科材料プロセス工学専攻
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概要
関連著者
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高井 治
名古屋大学大学院工学研究科
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名古屋大学大学院工学研究科材料プロセス工学専攻
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LEE Sung-Soo
名古屋大学大学院工学研究科材料プロセス工学専攻
著作論文
- CVDダイヤモンド膜 -窒化ケイ素基板の密着性に及ぼすDLC中間層の効果
- プラズマによる薄膜たい積と表面改質
- スパッタリングによる表面改質
- 窒化物系薄膜の作製と物性
- 二段階マイクロ波プラズマCVDによるタングステン線へのダイヤモンドの核生成促進と密着性