林 正和 | (株)東芝

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概要

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• (株)東芝の論文著者

関連著者

• 林 正和

  (株)東芝

• 小松 忠紀

  (株)東芝

• 石田 文彦

  (株)東芝

• 津田 展宏

  計量研究所

• 林 正和

  (株)東芝:(現)芝浦メカトロニクス(株)

• 内田 順三

  (株)東芝

著作論文

• 表面粗さSTM
• 薄膜プロセスの歩留りを支えるセンシング技術 (生産技術研究所の最近の成果)
• 三次元プローブ用高精度シリコン平行ばねセンサ

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