岩室 憲幸 | (独)産業技術総合研究所 エネルギー半導体エレクトロニクス研究ラボ

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概要

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関連著者

• 岩室 憲幸

  (独)産業技術総合研究所 エネルギー半導体エレクトロニクス研究ラボ

• 寺島 知秀

  三菱電機(株)

• 白石 正樹

  (株)日立製作所 日立研究所

• 俵 武志

  富士電機ホールディングス(株)

• 河田 泰之

  富士電機ホールディングス(株)

• 中村 俊一

  富士電機ホールディングス(株)

• 後藤 雅秀

  富士電機ホールディングス(株)

• 岩室 憲幸

  富士電機ホールディングス(株)

著作論文

• パワー半導体デバイスの最新技術動向
• 高温アニールによる4H-SiCエッチング形状変形の異方性

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