Oda Satoko | Dep. Of Chemical Engineering Sci. Yokohama National Univ. 79-5 Tokiwadai Hodogaya Yokohama Kanagawa

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概要

• 同名の論文著者
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関連著者

• Oda Satoko

  Dep. Of Chemical Engineering Sci. Yokohama National Univ. 79-5 Tokiwadai Hodogaya Yokohama Kanagawa

著作論文

• Etch rate and surface morphology of polycrystalline beta-silicon carbide using chlorine trifluoride gas

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