尾崎 一博 | 三井造船(株)
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概要
関連著者
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尾崎 一博
三井造船(株)
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内田 直喜
三井造船(株)
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内田 直喜
三井造船株式会社
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藤田 英明
東京工業大学 大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
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藤田 英明
東京工業大学
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ハー ファム
東京工業大学
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内田 直喜
三井造船（株）
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藤田 英明
東京工業大学大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
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石井 佑季
東京工業大学
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内田 直喜
三井造船
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Pham Ngoc
東京工業大学 大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
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高橋 裕司
東京工業大学
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尾崎 一博
三井造船株式会社
著作論文
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の電流位相制御と過渡特性
- 半導体用高速熱処理用ゾーンコントロール誘導加熱装置
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の電流位相制御特性
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の発熱分布
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の電流位相制御と過渡特性
- 半導体加熱モジュールの開発(200〜500℃ウェハ用RTA) (液晶・半導体関連技術小特集)
- ゾーンコントロール誘導加熱(ZCIH)の液晶および半導体分野への適用 (特集 電気機械製造業における電気加熱・冷却)
- 技術解説 ゾーンコントロール誘導加熱とその応用
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の開発
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の直交座標変換を用いたコイル電流制御法
- ゾーンコントロール誘導加熱装置の直交座標変換を用いたコイル電流制御法