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作道 健一 | 北大院工
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概要
同名の論文著者
北大院工の論文著者
関連著者
嶋田 志郎
北大院工
高橋 順一
北大院工
作道 健一
北大院工
高橋 順一
北海道大学大学院 工学研究科
著作論文
1C14 熱プラズマ CVD 法による窒化珪素/窒化チタン複合膜の作製とその評価
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