稗田 克彦 | Jsr株式会社電子材料事業部

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概要

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• 稗田 克彦

  Jsr株式会社電子材料事業部

• 稗田 克彦

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• 中村 敦

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• 杉浦 誠

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• 星子 賢二

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• 塩谷 健夫

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• 征矢野 晃雅

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• 藤原 考一

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• 山口 佳一

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• 下川 努

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• WANG Yong

  JSR株式会社 四日市研究センター

• 稗田 克彦

  JSR(株)電子材料事業部

• 島 基之

  JSR(株)四日市研究センター精密電子研究所

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著作論文

• hp32nm以降のArF液浸DP用 Freezing 技術
• 液浸露光装置用高屈折率液体の開発(極限の微細化を目指す半導体プロセス技術)
• 高屈折率液浸材料開発
• フォトリソグラフィー材料の最新動向

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