比嘉 昌 | 兵庫県立大学 工学研究科

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概要

• 同名の論文著者
• 兵庫県立大学 工学研究科の論文著者

兵庫県立大学 工学研究科 | 論文

• RF・高電圧パルス重畳PBIID法における二次電子発生とプラズマ発光
• RF・高電圧パルス重畳PBIID法における立体形状表面近傍のプラズマ発光
• プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したSiC_x膜の特性評価
• プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したDLC膜の体積抵抗率特性
• プラズマイオン注入成膜法で作製したDLC膜中のピンホール欠陥の評価と抑制

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