佐伯 淳 | 東京工業大学総合分析支援センター
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概要
東京工業大学総合分析支援センター | 論文
- Y_2O_3-Ta_2O_5混合ドープZrO_2ゲート絶縁膜界面の高分解能観察
- 高分解能分析電子顕微鏡による二酸化セリウム/イットリア安定化ジルコニア/シリコンヘテロ界面構造の原子スケール構造評価(原子をみる)
- YSZシード層によるSi(001)基板上へのCeO_2薄膜のエピタキシャル成長
- バッファーレイヤーのセラミック薄膜への適用
- 3L19 π種々の希土類元素を添加したジルコニアゲート絶縁膜の界面構造の高分解能 TEM 観察