Hagino Takatsugu | Department of Materials Science and Engineering, Muroran Institute of Technology, Mizumoto-cho, Muroran 050
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概要
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- Department of Materials Science and Engineering, Muroran Institute of Technology, Mizumoto-cho, Muroran 050の論文著者
論文 | ランダム
- MEMS/NEMSと機械的物性評価
- 静電チャックを用いた薄膜引張り試験装置
- 多結晶シリコンヨーレートセンサ
- 1998 R&D 100 Awardsを受賞して
- 薄膜の引張強度評価 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)