谷口 能之 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科先端エネルギー専攻

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概要

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• 東京大学大学院新領域創成科学研究科先端エネルギー専攻の論文著者

東京大学大学院新領域創成科学研究科先端エネルギー専攻 | 論文

• プラズマ合体実験における電子密度分布計測システムの開発
• 表面波プラズマにおける直流負バイアスによるプラズマ空間電位制御の簡易理論
• ダイヤモンド薄膜合成用の表面波プラズマCVD装置におけるプラズマ特性の最適化
• 円型表面波プロセスプラズマ装置の放電特性に関する数値計算および実験研究
• 円形表面波プラズマ装置の放電特性の向上に関する数値解析

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