松永 忠雄 | 東北大学μSIC

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概要

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東北大学μSIC | 論文

• Al_2O_3-RuO_xハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討
• MP-17 面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発(ポスターセッション)

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