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石田 次雄 | 新日本製鉄株式会社エレクトロニクス研究所
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新日本製鉄株式会社エレクトロニクス研究所 | 論文
Co-sputter法によるB添加a-SiC:H薄膜の作製と光学的特性 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
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