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中野 洋輔 | 阪大産研:
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阪大産研: | 論文
8aSM-12 低速電子線衝撃で作製したシリコンオキシナイトライド膜中の化学種 : XPSと密度汎関数法による決定(表面界面構造・電子物性,領域9)
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