余 謨群 | 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻:東北大学電気通信研究所付属超高密度・高速知能システム実験施設

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東北大学大学院工学研究科電子工学専攻:東北大学電気通信研究所付属超高密度・高速知能システム実験施設 | 論文

• ゲート電極材料のスパッタリング成膜時におけるゲート酸化膜へのダメージの評価

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