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菊田 亮太 | 茨城大学地質情報活用プロジェクト
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PZT-PZN系圧電体厚膜の低温形成
25aYJ-8 FLAPW法によるPbTiO_3-Pd界面の研究
Si基板上のTi_Al_xN薄膜の結晶配向性
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センサ・アクチュエータ用無機能性薄膜プロセス技術 III.ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価
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