矢野 良輔 | TRC

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概要

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TRC | 論文

• SiC結晶のイオン注入活性化アニール過程における結晶回復と点欠陥の再配置
• SiC結晶のイオン注入活性化アニール過程における結晶回復と点欠陥の再配置(パワーエレクトロニクス及び半導体電力変換一般)
• 3.各種分析法による石炭炭素構造のキャラクタリゼーション

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